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T/STIC 110096-2024 半导体用多级罗茨干式真空泵
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2.35 MB
文档格式
pdf
语言
中文
类别
团体标准
更新日期
2025-07-08
关键词
半导体
真空泵
多级
STIC
110096
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T∕STIC 110096-2024 半导体用多级罗茨干式真空泵
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