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T/CASAS 048-2025 碳化硅单晶生长用等静压石墨
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3.64 MB
文档格式
pdf
语言
中文
类别
团体标准
更新日期
2025-07-07
关键词
石墨
生长
静压
碳化硅
CASAS
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T∕CASAS 048-2025 碳化硅单晶生长用等静压石墨
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