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T/CASAS 004.2-2018 4H碳化硅衬底及外延层缺陷图谱
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30.4 MB
文档格式
pdf
语言
中文
类别
团体标准
更新日期
2025-07-07
关键词
图谱
缺陷
衬底
碳化硅
外延
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T∕CASAS 004.2-2018 4H碳化硅衬底及外延层缺陷图谱
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