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GB/T 38447-2020 微机电系统（MEMS）技术 MEMS结构共振疲劳试验方法

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中文

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更新日期

2025-07-15

关键词

验方共振微机结构 GB

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GB/T 38447-2020 微机电系统（MEMS）技术 MEMS结构共振疲劳试验方法

GB/T 38447-2020 微机电系统（MEMS）技术 MEMS结构共振疲劳试验方法

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