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GB/T 36646-2018 制备氮化物半导体材料用氢化物气相外延设备

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中文

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2025-07-14

关键词

制备氮化物设备氢化物外延

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GB/T 36646-2018 制备氮化物半导体材料用氢化物气相外延设备

GB/T 36646-2018 制备氮化物半导体材料用氢化物气相外延设备

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